光電(dian)器件設備領域在產量的(de)(de)具體步驟中(zhong),會發(fa)生一大批(pi)的(de)(de)有機(ji)的(de)(de)物并且微(wei)毒微(wei)害(hai)成分,尤(you)為是VOCs乙(yi)炔氣,如同時(shi)排放標準(zhun)VOCs乙(yi)炔氣,對大方得體層就會誘發(fa)程度較高厲害(hai)的(de)(de)害(hai)處(chu),因此本文這里將(jiang)與人(ren)們(men)每日分享一分關羽:光電(dian)器件設備領域的(de)(de)的(de)(de)廢氣凈化處(chu)理情況報告。
目前在市場上,企業的廢氣外理主要采用的是焚燒或者是吸附的方法,還有一種少見的熱氧化法,但是由于半導體器件生產廢氣治理中的生產物會被氧化物掉,故而僅僅在大精準流量、低溶液濃度的氣態的時候下的使用該技巧。
氣體吸附法:
靈(ling)家(jia)用催化(hua)(hua)抗逆性炭(tan)包粘附(fu)(fu)法是根據靈(ling)家(jia)用催化(hua)(hua)抗逆性炭(tan)包表面層上的(de)多孔,去粘附(fu)(fu)設計排放物中的(de)有(you)很(hen)大(da)危害性成(cheng)分或是是可收舊成(cheng)分,其粘附(fu)(fu)劑(ji)會選擇(ze)性強,有(you)時凈化(hua)(hua)器利用率高,靈(ling)家(jia)用催化(hua)(hua)抗逆性炭(tan)包再(zai)粘附(fu)(fu)后需(xu)作二(er)次利用處置。
優勢:親水性炭吸收系統結構簡單,可實現自動化操作,采用活性炭作為吸附劑,其運行成本低,而且對于廢氣中水蒸氣的靈敏度不高。
焚燒(shao)處理法(fa):
焚(fen)燒(shao)正確(que)處理法的(de)事情的(de)原理是將氣(qi)體中的(de)苯的(de)同系物物要經過熱脫色(se)被轉化為二脫色(se)碳和水,基(ji)本正確(que)處理的(de)是密度(du)和排風(feng)量十(shi)分平衡的(de)氣(qi)體。
有(you)機(ji)物尾氣(qi)治理策略(lve)似的會運行會點燃(ran)(ran)法(fa)、催化劑(ji)的作(zuo)用點燃(ran)(ran)法(fa)、抗逆性炭粘附(fu)法(fa)、空(kong)氣(qi)冷卻法(fa)等(deng),一(yi)大堆是會主要包括點燃(ran)(ran)法(fa)和粘附(fu)法(fa)相切合。